Wafer-Handler

01.10.2014 13:22

Wafer-Handler

Wafer-Handler mit Dual Arm besitzen das Potzenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern.

Wafer-Handler der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potzenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.

Merkmale

• Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
• Handhabung von Wafern bis zu mm
• Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
• Einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung
• Echtzeit-Bewegungssteuerung
• Sehr laufruhig
• Bürstenlose, wartungsfreie Servomotoren mit geringem Trägheitsmoment
• Spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe
• Absolut- Encoder
• Vielfältige Kommunikations-Schnittstellen
• Option: 2 Flip-Module iFM
• Klasse reinraumkompatibel
• Inklusive Advanced Hard-& Software
• Made in Germany

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