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FHR Anlagenbau GmbH

The Thin Film Company

Die FHR Anlagenbau GmbH ist ein innovatives Unternehmen im Bereich der Vakuumprozesstechnologie und des Sonderanlagenbaus. Eine Gruppe Dresdener Ingenieure mit langjähriger persönlicher Erfahrung in der Dünnschichttechnik gründete das Unternehmen mit dem Ziel, moderne Schichttechnologien in maßgeschneiderte Anlagenkonzepte umzusetzen.

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  • Anlagenbau

Das Unternehmen

Die FHR Anlagenbau GmbH ist seither zu einem anerkannten und erfolgreichen Vakuumprozessanlagenbauer gewachsen und entwickelt mit weltweitem Kundenkreis in Forschung und Industrie gemeinsam innovative Beschichtungsverfahren und maßgeschneiderte Anlagen im Bereich der Dünnschichttechnologie. Die Firma beschäftigt heute ca. 140 Mitarbeiter am Standort Ottendorf-Okrilla und ist seit 2008 eine 100-prozentige Tochter der centrotherm international AG, eines international führenden Anbieters von zukunftsweisenden thermischen Lösungen und Prozesstechnologie für Photovoltaik, Halbleiter und Mikroelektronik.

Wir unterstützen unsere Kunden bei der Auswahl und Anpassung von effizienten Beschichtungsmethoden für die unterschiedlichsten Anwendungsbereiche, von der Musterbeschichtung bis hin zum fertigen Industrieprozess. Für Skalierung und Produkttransfer vom Labor bis zur Produktion sind wir ein ehrlicher, erfahrener und zuverlässiger Partner.

Unsere Kompetenzen

Engineering-Kompetenz ist für FHR eine Kernkompetenz. Sondermaschinenbau ist unsere Stärke. Jeder Kunde erhält bei uns eine Anlage speziell für seine Beschichtungsanforderungen. Es ist unser Anspruch, neue Erkenntnisse aus Forschung und Entwicklung umgehend auch in die Industrie zu transferieren. Dazu gehen wir bei FHR den Weg gemeinsam mit unseren Kunden.

FHR kann Anlagen sehr individuell für den Kunden gestalten. Dabei verknüpfen wir Engineering, Konstruktion, Software und Automatisierung – und das Beste daran: Sondermaschinenbau muss nicht unbedingt teuer sein.

Prozesstechnik-Kompetenz hat sich FHR für eine Vielzahl von Technologien erarbeitet. Dazu gehören reaktives und nicht-reaktives Magnetronsputtern, Vakuumbedampfen, CVD und PECVD für das hocheffiziente Abscheiden von Metallen, Oxiden und Nitriden, die Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) für das Abscheiden geometriekonformer ultradünner Funktionsschichten mit homogener Schichtdicke auf komplexen 3D-Oberflächenstrukturen sowie plasmaunterstützte Ätztechnologien für Oberflächenbehandlung und ultraeffizienten Materialabtrag (Hochrate-Ätzen). FHR überzeugt durch stabile, produktionstaugliche Prozesse. Wir sind erst zufrieden, wenn der Beschichtungsprozess beim Kunden optimal läuft.

Materialkompetenz ist entscheidend für das Abscheiden perfekter Dünnschichten auf den unterschiedlichsten Substraten. Aus diesem Grund liefert FHR nicht nur Anlagen, sondern zugleich auch Verbrauchsmaterialien. Die Sputtertargets werden in unserem Haus von Experten entwickelt und gefertigt, die wissen, dass auch Gefüge und Kornstruktur des Ausgangsmaterials letztendlich Auswirkungen auf die Qualität dünner Schichten haben.

Unsere Produkte

Das FHR-Produktportfolio umfasst modulare Cluster-Anlagen für die Behandlung und Beschichtung von kleinflächigen Substraten und Wafern (FHR.Star), Rolle-zu-Rolle-Anlagen für das Beschichten flexibler Substrate wie Metall- oder Polymerfolien (FHR.Roll) und horizontale sowie vertikale Inline-Anlagen für das Beschichten von planen Substraten  (FHR.Line-Produktreihe). Dazu kommen spezielle Anlagen für die Kleinserien- und Pilotproduktion (FHR.Boxx), sowie Reaktoren zur Atomlagenabscheidung (FHR.Atom). Außerdem liefert FHR auf Wunsch auch Einzelkomponenten wie Ionen- oder Sputterquellen, Gasregelsysteme sowie Sputtertargets, wobei letztere individuell konstruiert und auf Wunsch auf Kühlkörper gebondet geliefert werden.

FHR arbeitet mit namhaften Industriepartnern und Forschungsinstituten weltweit zusammen. Nicht nur bei der Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtung gehört FHR zu den Marktführern.


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  • Titel: Sputter systems, sputtering targets and vacuum process equipment by FHR - Products
  • Beschreibung: From FHR you can buy vacuum coating equipment and sputtering targets. FHR Anlagenbau is a manufacturer and supplier of magnetron sputtering systems as well as thin film equipment with integrated PVD, PECVD and ALD technologies. FHR delivers also vacuum process equipment for etching (ISE, PE, RIE), annealing (FLA, RTP) and UV ozone cleaning (UVOH).
  • Keywords: sputter, sputtering, deposition, coating, vacuum, evaporation, vapour, PVD, CVD, plasma, PECVD, UVOH, UV ozone, cleaning, thin film, glass, semiconductor, foil, sputter deposition, sputtering target, target materials, rotatable target, bluepage-cms

Adresse

FHR Anlagenbau GmbH
Am Hügel 2
01458 Ottendorf-Okrilla
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